真空泵可以根据不同的分类方式进行划分，主要包括以下几种：
按工作原理分类
气体输送泵：包括变容真空泵和动量传输泵。
气体捕集泵：包括吸附泵、吸气剂泵、吸气剂离子泵、低温泵。
按真空度分类
粗真空度：通常指真空度在10^5 Pa至10^2 Pa之间的真空泵。
中真空度：通常指真空度在10^2 Pa至10^-1 Pa之间的真空泵。
高真空度：包括滑阀式真空泵、旋片式真空泵、罗茨真空泵等。
超高真空度：包括低温泵、分子泵、溅射离子泵、钛升华泵、扩散泵等。
按结构特点分类
机械式真空泵：包括往复式真空泵、旋转式机械泵（如旋片式、螺杆式、罗茨式、液环式等）。
射流式真空泵：利用高压工作流体产生射流来抽吸气体。
干式真空泵：如隔膜真空泵，没有油润滑。
按应用领域分类
化工：用于抽送各种气体，如腐蚀性气体、无腐蚀性气体等。
医药化工：用于药品生产中的真空干燥、蒸馏等过程。
食品机械：用于食品的真空包装、冷冻干燥等。
电子行业：用于半导体材料的生产、镀膜等。
冶金：用于金属冶炼、提纯等过程。
这些分类方式有助于更全面地了解真空泵的应用场景和性能特点，选择适合的真空泵类型以满足不同工艺需求。