真空泵的主要参数包括：
极限真空度：
表示泵在长时间连续工作后所能达到的最低压力，单位通常为帕斯卡（Pa）或托（Torr）。
抽气速率：
单位时间内泵能抽走的气体体积，通常以立方米每秒（m³/s）或升每秒（L/s）表示。
抽气量：
单位时间内泵入口的气体流量，通常以立方米每秒（m³/s）或升每秒（L/s）表示。
功率：
指泵工作时消耗的电能，单位通常为瓦特（W）或千瓦（kW）。
噪音：
指泵在工作时产生的声音强度，单位通常为分贝（dB）。
压缩比：
指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。
何氏系数：
表示真空泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。
水蒸气允许量：
指泵在正常工作环境下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量，单位通常为kg/h。
最大允许水蒸气入口压强：
指在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强，单位通常为Pa。
起动压强：
指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。
前级压强：
指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。
最大前级压强：
指超过了能使泵损坏的前级压强。
最大工作压强：
指对应最大抽气量的入口压强，在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。
选择合适的真空泵时，需要根据具体的应用场景和需求考虑上述参数。