根据提供的信息，张江高科投资了以下公司：
1. 上海微电子装备有限公司：投资金额为22,345万元人民币，持有10.779%的股权。
2. 蓝箭航天空间科技股份有限公司：通过参股基金张江燧锋基金投资了1.5亿人民币。
3. 北京恩泽康泰生物科技有限公司：通过参股上海火山石二期创业投资合伙企业（有限合伙）进行投资。
4. 登临科技：具体投资金额未提及。
5. 酷芯微电子：具体投资金额未提及。
6. 瑶芯微：通过参股基金张江燧锋基金投资。
7. 臻驱科技：通过参股基金张江燧锋基金投资。
8. 云从科技：通过投资基金深圳市张江星河投资企业（有限合伙）投资。
9. 上海集芯航科技发展有限公司：出资5000万元成立，持股100%。
请注意，上述信息可能不全面，且投资金额可能会随着时间变化，具体详情建议参考官方公告或最新的投资者关系报告